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随着航空航天、国防高尖端技术以及民用高技术产品的迅速发展,超精
密机床已经成为必不可少的装备。超精密机床的研发也成为现代高精尖技术
产品制造的核心关键技术之一。本文基于所设计的用于液晶导光板滚筒模具
表面精加工的超精密机床,从机械结构设计、液体静压导轨的静态特性研究
和机床力学性能研究等三个方面对所设计的超精密机床进行研究。因此,本
文的主要研究内容包括:
超精密机床的机械结构设计。根据所需加工工件的尺寸范围,制定机床
的总体设计方案,确定各零部件间的布置方式;进而确定整机与各零部件的
结构设计目标和功能部件的类型(如主轴、导轨、驱动装置、反馈装置的类
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